VACUUM VALVE(진공밸브)

진공밸브

반도체 공정에서 많이 사용되는 진공밸브(VAT VALVE)입니다.
(주)쎄미콤에서는 가장 대표적인 VAT VALVE 부터 VARIAN, MKS, SMC, MDC, KITZ 등 수리를 진행하고 있습니다.

그럼 밸브에 대하여 알아보도록 합니다.

1. MINI VACUUM GATE VALVE
MINI UHV GATE VALVE는 모듈화된 구동부로 산업용이나 연구 개발용으로 적합한 밸브입니다.
종종 반도체 공정 시스템의 파이핑에 사용되기도 합니다.

내부직경 : 16(5/8") - 50(2")
BODY Material : Aluminum/stainless steel
Type : Manual actator
Pneumatic actuator(double acting)
Pneumatic actuator(single acting)
압력범위 : 1x10^-10mbar to 2ban(abs)
온도범위 : 50 ~ 250℃
Open/Close cycle : 50,000 cycles


2. INSERTABLE GATE VALVE
삽입형 게이트 밸브로 DIN플랜지로 직접 설치되어 공간이 절약됩니다.

내부직경 : 63(2 1/2") - 100(4")
BODY Material : Aluminum
압력범위 : 1x10^-10mbar to 2ban(abs)
온도범위 : 50 ~ 150℃
Open/Close cycle : 200,000 cycles


3. UHV GATE VALVE
반도체와 연구개발에 사용되는 밸브입니다.              

내부직경 : 63(2 1/2") - 100(4")
BODY Material : Aluminum
Type : Manual Actuator
Pneumatic actuator(double acting) Stepper motor
Pneumatic actuator(single acting)
압력범위 : 1x10^-10mbar to 1.2(1.6)ban(abs)
온도범위 : 50 ~ 250℃
Open/Close cycle : 50,000 cycles


4. HV GATE VALVE
스프터링, 에칭 등과 같은 반도체, FPD 및 산업공정 분야에 적용 가능합니다.

내부직경 : 63(2 1/2") - 400(16")

BODY Material : Stainless steel
Type : 3-position pneumatic actuator(double acting)
압력범위 : 1x10^-8mbarto 2bar(abs)              
온도범위 : 50 ~ 150℃
Open/Close cycle : 200,000 cycles


 

 

5. PENDULUM VALVE
반도체 CVD와 ETCH 같이 높은 사양이 요구되는 공정에 적합합니다.
내부직경 : 63(2 1/2") - 400(16")
BODY Material : Aluminum
Type : Pneumatic actuator(single acting)
압력범위 : 1x10^-8mbarto 2bar(abs)
온도범위 : ~ 120℃
Open/Close cycle : 200,000 cycles


6. BUTTERFLY CONTROL VALVE
반도체, FPD 그리고 산업공정에서 사용되며 CVD공정에서 많이 사용되고 있습니다.

내부직경 : 40(1 1/2") - 200*8")
BODY Material : Aluminum,Stainless steel
Type : Stepper motor
Integrated controller
압력범위 : 1x10^-6(10^-8)mbarto 1.2bar(abs)
온도범위 :  50 ~ 150℃

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