피라니 게이지 / 컴팩트 게이지

(주)쎄미콤에서 야심차게 준비한 진공게이지(Vacuum Gauge)에 대한 제품 소개입니다.

진공게이지의 대부분은 외산 메이커社를 이용하고 있는게 현실입니다. 국산품을 이용하고 싶지만 성능에 한번 고민을... 막상 찾으려고 하면 국산제품이 없어 난항을 겪지는 않으셨나요?
이제 고민하지 마시고 (주)쎄미콤의 게이지를 이용 해 보시는 건 어떨까요?

☞ 컴팩트 게이지(COMPACT GAUGE)

1. 본 제품은 반도체 장비 Chamber 내부의 진공도를 측정하는 진공 게이지로서 Original
 Granville Phillips(Brooks, USA) 제품을 국산화한 제품입니다.

2. 본제품은 기존의 Pirani gauge와 달리 Pirani sensor에 Coil을 감아 저 진공 ~ 대기압까지의 광범위한 범위 내 진공도 측정이 가능합니다.

3. 본 제품은 주로 반도체 및 LCD, OLED, 태양광 등의 집적공정장비에 장착하여
 사용되어지며, 그 밖의 진공설비를 갖춘 학교 및 일반산업체에서도 쉽게 적용 가능합니다.


☞ 피라니 게이지(PIRANI GAUGE)



1. 본 제품은 반도체 장비 Chamber 내부의 진공도를 측정하는 진공 게이지로서 Original
 Teledyne Hastings (USA) 제품을 국산화한 제품입니다.

2. 본 제품은 Pirani 및 Piezo sensor가 결합된 combination type의 제품으로서 저 진공 ~ 대기압까지의 광범위한 범위 내 정밀한 진공도 측정이 가능합니다.

(10-3~10Torr Pirani sensor 동작, 10~1000Torr Piezo sensor 동작)

3. 본 제품은 주로 반도체 및 LCD, OLED, 태양광 등의 집적공정장비에 장착하여
 사용되어지며, 그 밖의 진공설비를 갖춘 학교 및 일반산업체에서도 쉽게 적용 가능합니다.

★ 제품의 사양 및 규격은 현재 사용하는 용도 및 규격에 맞게 변경가능합니다.
(Fitting : 15m O.D, 1/4VCR, 1/8VCR, NW-16, NW-25, etc *고객사양맞게 제작가능)

자세한 사항은 아래의 연락처로 연락 주시면 성심성의껏 답변 해 드리겠습니다.


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